柔性觸覺傳感器在人機(jī)界面、機(jī)器人操作、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。然而，它們?nèi)彳浀耐庑我蛩貐s在與基于晶圓的設(shè)備、商業(yè)芯片或電路板的集成方面提出了挑戰(zhàn)。

近日，為了克服上述挑戰(zhàn)，北京大學(xué)韓夢(mèng)迪團(tuán)隊(duì)介紹了一套靈活的模塊化觸覺傳感器的制造方法、器件設(shè)計(jì)、集成策略和生物醫(yī)，實(shí)現(xiàn)了與商業(yè)電子的兼容。傳感器利用光刻技術(shù)制備的金屬或合金細(xì)線作為傳感元件。將這些元件布置在三維空間中，可以精確、無(wú)滯后、解耦地測(cè)量溫度、法向力和剪切力。將這些傳感器組裝在柔性印刷電路板上，與商業(yè)電子產(chǎn)品一起形成各種柔性電子系統(tǒng)，具有皮膚界面無(wú)線測(cè)量、生物力學(xué)信號(hào)連續(xù)監(jiān)測(cè)和觸覺信息空間映射的能力。靈活的模塊化觸覺傳感器擴(kuò)展了微電子和宏觀電子的功能組件組合。

來(lái)源：傳感器專家網(wǎng)